配備微型高功率直線電機，高精度光柵尺閉環(huán)反饋，可實現(xiàn)極大加速度和納米級定位精度。該系統(tǒng)既適合應用于超精密加工設備，又是微電子、檢測領域的理想選擇。

優(yōu)化的機械結構、創(chuàng)新的節(jié)流方式提供了相比國外同類產品更高的剛度、更大的承載能力和極低的耗氣量。同時可選真空預載技術,保證正常的空氣工作間隙。

SL系列高性能氣體靜壓導軌結構緊湊，可用于構建多軸運動系統(tǒng)。

無摩擦運動，確保了行業(yè)領先的直線度和俯仰/偏擺/翻滾，適用于半導體加工、檢測等對運動精度要求較高的領域。

可根據(jù)客戶的需求提供靈活的解決方案。

產品特點：

非接觸式氣浮導軌結構

直驅直線電機驅動

定位精度±0.2μm

極低的耗氣量

精密光柵尺閉環(huán)反饋

高剛性重負載

極小的自激效應